Hola weatherby deberias revisar el siguiente articulo:
WPF MaskedTextBox Control
Otra opción seria usar los controles TextEdit de DevExpress ya que ese control contiene propiedad Mask y solamente tendrías que poner el tipo de macara que necesitas y listo.
How to: Enable Masked Input (Text Editor)
En caso llegues a usar DevExpress usarías la siguiente mascara:
Mask="#,###,###,###,###,##0.000"
Espero haberte ayudado.